ITO靶材的回收流程通常包括以下几个步骤：

1. 收集与分类：将废旧ITO靶材进行收集，并根据其种类、纯度等进行分类。

2. 破碎与研磨：将分类后的靶材进行破碎和研磨，使其变成粉末状，便于后续处理。

3. 化学分离：采用化学方法将粉末中的铟、锡等元素进行有效分离。

4. 提纯与精炼：对分离出的铟、锡等元素进行提纯和精炼，得到高纯度的金属产品。

5. 再加工：将提纯后的金属产品加工成新的靶材或其他产品，实现资源的循环利用。

在实际生产中，采用蒸馏法分离铟、锡时，可考虑采用微负压系统进行产业化生产的升级改进。通过改善工艺条件和调整技术参数等，以充分的降低能耗，并获得更好的铟、锡分离效果，这也是今后产业化试验研究的主要方向。

氧化铟是一种宽禁带半导体，具有良好的光学透明性，而氧化锡的引入则增强了材料的导电性。这种成分结构使得ITO材料在保证高透光率的同时也具有低电阻率，兼具光学和电学性能。ITO靶材的这一独特特性使其成为透明导电膜的主流材料，尤其适用于要求高透明度的光电设备和显示技术。

透明导电薄膜在现代光电行业中具有至关重要的地位，是触摸屏、显示器和太阳能电池等设备中的核心组件。ITO靶材凭借其出色的透明导电特性成为制备透明导电薄膜的材料。