从化学角度看,ITO是一种复合氧化物,其性能很大程度上取决于氧化铟和氧化锡的比例。氧化铟提供高透明度,而氧化锡的掺杂则增强了材料的导电性。通过控制这两者的配比,ITO能够在保持光学透明的同时,具备接近金属的导电能力。这种“透明却导电”的特性,使得ITO成为制造透明导电膜的理想选择。
铟靶材主要由金属铟制成,具有质软、延展性好和导电性强的特点。作为稀有金属,铟在自然界的含量稀少,但其独特的物理和化学性质使其成为众多高科技产品的核心组件。铟靶材广泛应用于航空航天、电子工业等领域,是制造高性能电子元器件的关键材料。
氧化铟是一种宽禁带半导体,具有良好的光学透明性,而氧化锡的引入则增强了材料的导电性。这种成分结构使得ITO材料在保证高透光率的同时也具有低电阻率,兼具光学和电学性能。ITO靶材的这一独特特性使其成为透明导电膜的主流材料,尤其适用于要求高透明度的光电设备和显示技术。
闭环之困:损耗与机遇并存
ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右,大量含铟废料(废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料)随之产生。过去,这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系,成为破解资源约束的黄金路径。