微观结构:铟靶晶粒尺寸一般需维持在 10-50 微米区间,密度高于 7.31g/cm³,热导率保持在 81.8W/(m・K) 以上,这些技术参数直接决定了其在真空溅射过程中的沉积效率和薄膜质量。
半导体领域:占比 28%,用于晶圆制造的金属互联层与钝化层沉积,在第三代半导体器件制造中的渗透率持续攀升,如氮化镓功率器件就需要使用铟靶。
粉末冶金法:将铟氧化物和锡氧化物粉末均匀混合,随后进行预烧结,以获得初步的靶材结构。预烧结步骤通常在相对低温下进行,目的是通过部分熔融促进粉末颗粒的结合,同时防止过早的晶粒长大。粉体粒径分布的控制是该方法中的关键一环。
靶材原料(占比约 60%):
用于制备 ITO(氧化铟锡)靶材,生产 LCD、OLED 显示面板的透明导电膜(如手机屏幕、电视面板)。
光伏领域:作为 CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池的关键原料,提升光电转换效率。