热压法:把铟粉末在高温和高压下压制成型,能够提高靶材的致密度和机械强度,同时有助于减少气孔和其他缺陷。
冷等静压法:利用液压介质在室温下对铟粉末施加均匀压力使其成型,可制造出高密度和均匀性的靶材,但需要后续的烧结处理来提高其机械性能。
平板显示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制备透明导电薄膜(如氧化铟锡,ITO),作为显示面板的电极层和触控层。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,实现像素电极的导电功能。
OLED/Micro-LED:作为柔性基板(如 PI 膜)的透明电极,满足柔性显示对材料延展性的要求。
市场占比:全球超过 70% 的铟靶材用于显示面板生产,是 LCD/OLED 产业链的关键材料。
固态电池与储能技术
前沿应用:铟作为固态电解质的界面改性材料,改善电极与电解质的接触阻抗,提升固态电池的循环寿命和性。
溅射气体控制
气体纯度:使用高纯氩气(99.999% 以上),避免氧气、水汽混入导致铟靶氧化(氧化铟导电性下降,易形成电弧放电)。
气压调节:
直流溅射(DC):气压通常为 0.1~10 Pa,低气压下溅射速率高但薄膜致密度低;高气压下薄膜均匀性好但沉积速率慢。
射频溅射(RF):适用于绝缘基底,气压可略高于直流溅射,需根据薄膜厚度要求动态调整。