粉末冶金法:通过将铟粉末在高温下压制和烧结成型,可有效控制杂质含量,能制造出形状复杂的靶材,制得的靶材具有较高的致密度和均匀性。
熔炼法:将铟材料加热至熔点以上,使其成为液态,然后通过铸模或其他成型工艺制造靶材,该方法简单快捷,但控制纯度和均匀性相对较难。
光学领域:用于制造反射率与银镜一样高但不会褪色的镜,还可用于制造其他光学器件,如滤光片、光通信器件等。
其他领域:可用于制造低熔点合金,如 24%铟和 76%镓的合金在室温下为液态,此外,还可用于制造整流器、热敏电阻和光电导体等电气组件。
先进封装技术
应用:在芯片倒装焊(Flip Chip)中作为焊料或热界面材料,实现芯片与基板的电气连接和热传导。
特点:低熔点(156.6℃)和高可靠性,适用于精密电子器件的低温封装。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。