纯化技术
区熔法:一种通过熔化和重新结晶来纯化材料的方法,可有效去除铟中的杂质,提高其纯度。
电解精炼:利用电化学反应将铟从杂质中分离出来。将铟材料作为阳极,置于电解液中,通过施加电流使铟离子在阴极上沉积,从而得到高纯度的铟。
化学纯化:利用化学反应去除铟中的杂质,例如通过溶剂萃取和化学沉淀等方法,可有效分离和去除杂质,提高铟的纯度。
先进封装技术
应用:在芯片倒装焊(Flip Chip)中作为焊料或热界面材料,实现芯片与基板的电气连接和热传导。
特点:低熔点(156.6℃)和高可靠性,适用于精密电子器件的低温封装。
铟靶是现代电子信息、新能源、高端制造等战略性新兴产业的底层关键材料,其应用深度和广度直接反映一个国家在半导体、显示、光伏等领域的技术水平。由于全球铟资源稀缺(主要伴生于锌矿),且提纯工艺复杂,铟靶的供应链已成为各国关注的重点。未来,随着 5G、AI、新能源汽车等产业的爆发,铟靶的需求将持续增长,同时推动高纯铟(99.999% 以上)制备技术的不断突破。
溅射气体控制
气体纯度:使用高纯氩气(99.999% 以上),避免氧气、水汽混入导致铟靶氧化(氧化铟导电性下降,易形成电弧放电)。
气压调节:
直流溅射(DC):气压通常为 0.1~10 Pa,低气压下溅射速率高但薄膜致密度低;高气压下薄膜均匀性好但沉积速率慢。
射频溅射(RF):适用于绝缘基底,气压可略高于直流溅射,需根据薄膜厚度要求动态调整。