氮化硅
氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。
它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；
除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。
而且它还能抵抗冷冲击，加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。
涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，
涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。
技术指标
Items Value Items Value
Spefice Surface Area(m2/g) 9.8-13 Green Density(g/cm3) 1.7-1.9
N(wt%) >38.0 Fe(wt%) <0.008
O(wt%) <1.5 Ca(wt%) <0.01
C(wt%) <0.2 Al(wt%) <0.08
Na(wt%) <0.001 Ni(wt%) <0.001
Mo(wt%) <0.001 Mg(wt%) <0.001
Cr(wt%) <0.001 Co(wt%) <0.001
K(wt%) <0.001 Mn(wt%) <0.001
Partical Size(lazer)D90(μm) 1.1-1.5 Partical Size(lazer)D50(μm) 0.5-0.7
Partical Size(lazer)D10(μm) 0.2-0.4
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